
Кандидат технических наук, окончил Московский государственный технический университет им. Н. Э. Баумана в 1990 г. (факультет Радиоэлектроники и лазерной техники, кафедра Лазерных и оптико-электронных систем, специальность Оптические и оптикоэлектронные системы).
Область научных интересов - сканирующая туннельная микроскопия (СТМ), атомно-силовая микроскопия (АСМ), сканирующая зондовая микроскопия (СЗМ), оптическая профилометрия (ОП), инфракрасная микроскопия (ИКМ), нанометрология, нанотехнология, каталитические наночастицы (КНЧ), микромеханические ИК-приёмники.
Выполнил СТМ/АСМ исследования поверхности пористого Si, гетероструктур GaAlAs, упорядоченных массивов наночастиц SiO2 (фотонных кристаллов), СВЧ-датчиков на сверхпроводнике SiNbN, наноструктурированной электрохимически полированной поверхности Al, упорядоченной поверхности пористого Al2O3, Pd кластеров, углеродных нанотрубок (УНТ), поверхностных упорядоченных структур MePhSiCl2, VOCl3, TiCl4, тонких плёнок углерода, осаждённых из плазмы на полиэтилен низкой плотности (ПЭНП), полиуретан (ПУ) и полиметилметакрилат (ПММА), с целью улучшения биосовместимых свойств искусственных органов человека (протезы кровеносных сосудов, хрусталики глаза, клапаны сердца и др.), изготовленных из этих материалов.
Провел изучение влияния вакуумного ультрафиолета (ВУФ) на свойства и морфологию поверхности полиметилметакрилата. Исследовал формирование в Ar-плазме тлеющего разряда наночастиц C, Ni, Si на подложках Si(100) и Si(111). Разработал методику осаждения каталитических наночастиц Ni на подложку Si(100) для проведения низкотемпературного синтеза углеродных наноструктур методом плазмо-стимулированного химического осаждения из газовой фазы (ПСХОГФ).
Предложил простой метод считывания для зондового запоминающего устройства большой ёмкости.
Разработал методологию особенность ориентированного сканирования-позиционирования, предназначенную для проведения высокоточных СЗМ-измерений, автоматической характеризации поверхности и организации безлюдного нанопроизводства "снизу-вверх".
Разработал методику автоматической коррекции дрейфа зонда микроскопа относительно исследуемой поверхности, использующую технику встречного сканирования и распознавание топографических особенностей.
На базе СЗМ создал стенд и провел измерения характеристик биматериальных микрокантилеверов, используемых в качестве ИК-сенсоров. Сформулировал принцип действия, предложил конструкцию и методы управления высокоточным многофункциональным шагающим роботом-нанопозиционером, предназначенным для применения в СЗМ и в различных нанотехнологических процессах. Занимался разработкой способа автоматической распределённой калибровки сканера зондового микроскопа.
Автор более 60 научных трудов, в том числе 7 изобретений.